Deskripsi
Pengujian menggunakan FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope) bertujuan untuk mendapatkan citra permukaan sampel dengan resolusi sangat tinggi hingga skala nanometer. Metode ini digunakan untuk mempelajari morfologi, topografi, dan detail mikrostruktur material, baik pada sampel konduktif maupun non-konduktif. FE-SEM memungkinkan visualisasi yang jelas pada detail halus yang tidak dapat diamati dengan mikroskop optik biasa.
FE-SEM bekerja dengan menembakkan berkas elektron berenergi tinggi ke permukaan sampel. Interaksi antara elektron dan permukaan menghasilkan sinyal yang diterjemahkan menjadi citra beresolusi tinggi. Pada Quattro FE-SEM, pengujian dapat dilakukan dalam berbagai mode, termasuk high vacuum, low vacuum, dan ESEM (Environmental SEM), yang memungkinkan analisis sampel tanpa preparasi khusus seperti pelapisan logam. Hasil pengujian berupa gambar detail permukaan yang digunakan untuk karakterisasi material, analisis kerusakan, atau penelitian ilmiah.