Deskripsi
Pengujian SEM-EDX (Scanning Electron Microscope – Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) tipe point digunakan untuk mengidentifikasi unsur-unsur kimia pada titik spesifik di permukaan sampel. Dengan memanfaatkan gambar beresolusi tinggi dari FE-SEM, pengguna dapat memilih area atau titik tertentu untuk dianalisis komposisi elemennya, sehingga hasilnya lebih terfokus dan presisi.
Sampel diamati menggunakan FE-SEM untuk mendapatkan citra detail permukaan. Kemudian, berkas elektron diarahkan pada titik yang dipilih, memicu emisi sinar-X karakteristik dari unsur-unsur yang ada di lokasi tersebut. Spektrum sinar-X yang dihasilkan dianalisis oleh detektor EDX untuk menentukan jenis dan persentase relatif setiap unsur. Metode ini ideal untuk analisis lokal, seperti mengidentifikasi inklusi, partikel, atau cacat mikro pada material.